Диссертация
Назаров Антон Викторович
Кандидат наук
Статус диссертации
Доктор наук Профессор
Доктор наук Доцент
Коробейщиков Николай Геннадьевич
Кандидат наук
Лигачев Александр Егорович
Доктор наук
физико-математические науки
Диссертация посвящена исследованию дифференциальных характеристик распыления поверхности металлов пучком газовых кластерных ионов. Экспериментально продемонстрированы отклонения формы угловых распределений распылённого материала от «латерального» вида. Исследованы зависимости угловых распределений от средней энергии, приходящейся на один атом кластера, показано влияние нанорельефа поверхности мишени на угловые распределения. Также исследовано влияние сорта атомов кластера и мишени на характеристики процесса передачи энергии от кластера атомам мишени. Исследованы энергетические распределения распылённых атомов, показана применимость модели тепловых пиков Зигмунда-Клауссена для описания энергетических распределений.
| # | Название | Размер |
|---|---|---|
| 1 | Отзыв официального оппонента | 160 KB |
| 2 | Отзыв официального оппонента | 242 KB |
| 3 | Отзыв официального оппонента | 172 KB |
| 4 | Сведения о научных руководителях (консультантах) | 354 KB |
| 5 | Протокол приема диссертации к защите | 56 KB |
| 6 | Автореферат | 1 MB |
| 7 | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | 328 KB |
| 8 | Диссертация | 12 MB |
| 9 | Дополнительный отзыв на диссертацию или реферат | 215 KB |
| 10 | Дополнительный отзыв на диссертацию или реферат | 43 KB |
| 11 | Отзыв научного руководителя (консультанта) | 465 KB |