Warning: Undefined property: Dissovet\Models\Dissertation::$performed_in_place2 in /var/www/application/Models/Dissertation.php on line 298
Диссертация

Диссертация

Воронина Екатерина Николаевна

Доктор наук

Статус диссертации

07.07.2020 
Диплом Доктор наук
29.06.2020 
Решение о выдаче диплома
22.05.2020 
Положительное заключение АК
03.03.2020 
На рассмотрении в АК
18.12.2019 
Положительная защита
10.10.2019 
Объявление опубликовано
09.10.2019 
Принят к защите
07.10.2019 
Заключение комиссии
01.10.2019 
Документы приняты
ФИО соискателя
Воронина Екатерина Николаевна
Степень на присвоение
Доктор наук
Приказ о выдаче диплома
№ 691 от 07.07.2020
Дата и время защиты
18.12.2019 15:00
Оппоненты
Амиров Ильдар Искандерович
Доктор наук
Филиппов Анатолий Васильевич
Доктор наук
Борисов Анатолий Михайлович
Доктор наук Профессор
Место выполнения работы
Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В.Скобельцына, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Специальность
01.04.15 Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика
физико-математические науки
Диссертационный совет
Телефон совета
+7495 939-5606; +7495 939-4093

Диссертационная работа посвящена исследованию механизмов воздействия нейтральных атомов и ионов низкотемпературной плазмы на 1D и 2D наноструктуры (монослои и нанотрубки на основе углерода, нитрида бора, дисульфида молибдена и вольфрама) и наноструктурированные материалы: нанопористые low k диэлектрики, используемые в качестве межслойных изоляторов интегральных микросхем, и полимерные нанокомпозиты, которые могут применяться в космической технике как многофункциональные материалы, обладающие повышенной стойкостью к воздействию внешней среды. В работе с использованием методов многомасштабного моделирования исследовано влияние кривизны поверхности нанотрубок на процессы адсорбции, описаны предложенные многоступенчатые механизмы взаимодействия тепловых атомов F и N c low-k диэлектриками, выявлен механизм запечатывания приповерхностных пор в нанопористых материалах под действием ионов низкой энергии и проанализировано влияние степени диспергирования на стойкость полимерных нанокомпозитов к воздействию кислородной плазмы. Полученные в работе результаты могут быть непосредственно использованы при оптимизации существующих и разработке новых технологий создания, плазменной модификации и травления рассматриваемых наноструктурированных материалов, а также разработке методов повышения стойкости этихматериалов к воздействию низкотемпературной плазмы.

# Название Размер