Диссертация

Диссертационная работа посвящена исследованию механизмов воздействия нейтральных атомов и ионов низкотемпературной плазмы на 1D и 2D наноструктуры (монослои и нанотрубки на основе углерода, нитрида бора, дисульфида молибдена и вольфрама) и наноструктурированные материалы: нанопористые low k диэлектрики, используемые в качестве межслойных изоляторов интегральных микросхем, и полимерные нанокомпозиты, которые могут применяться в космической технике как многофункциональные материалы, обладающие повышенной стойкостью к воздействию внешней среды. В работе с использованием методов многомасштабного моделирования исследовано влияние кривизны поверхности нанотрубок на процессы адсорбции, описаны предложенные многоступенчатые механизмы взаимодействия тепловых атомов F и N c low-k диэлектриками, выявлен механизм запечатывания приповерхностных пор в нанопористых материалах под действием ионов низкой энергии и проанализировано влияние степени диспергирования на стойкость полимерных нанокомпозитов к воздействию кислородной плазмы. Полученные в работе результаты могут быть непосредственно использованы при оптимизации существующих и разработке новых технологий создания, плазменной модификации и травления рассматриваемых наноструктурированных материалов, а также разработке методов повышения стойкости этихматериалов к воздействию низкотемпературной плазмы.