Диссертация

Тема диссертации

Физические процессы в технологическом плазменном реакторе для магнетронного напыления функциональных покрытий с ионным стимулированием

ФИО соискателя

Никонов Александр Михайлович

Степень на присвоение

Кандидат наук

Приказ о выдаче диплома

№ 1487 от 02.12.2019

Дата и время защиты

12.09.2019 16:30

Научный руководитель

Кралькина Елена Александровна
Доктор наук

Оппоненты

Скворцова Нина Николаевна
Доктор наук Профессор
Попов Олег Алексеевич
Доктор наук Профессор
Лебедев Юрий Анатольевич
Доктор наук Доцент

Место выполнения работы

Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, Физический факультет, Кафедра физической электроники

Специальность

01.04.08 Физика плазмы
физико-математические науки

Диссертационный совет

МГУ.013.7

Телефон совета

+7 495 939-25-47

Диссертация посвящена комплексному, систематическому экспериментальному исследованию пространственного распределения параметров плазмы и высокочастотных полей в индуктивном высокочастотном разряде с внешним магнитным полем, индукция которого не превышает 100 Гс, а также в комбинированном разряде на основе указанного разряда и разряда постоянного тока.

#	Название	Размер

Диссертация

Никонов Александр Михайлович

Кандидат наук

Статус диссертации

Физические процессы в технологическом плазменном реакторе для магнетронного напыления функциональных покрытий с ионным стимулированием