Диссертация
Соколов Сергей Александрович
Кандидат наук
Статус диссертации
Доктор наук Профессор
Доктор наук Профессор
Афанасьев Михаил Сергеевич
Доктор наук Доцент
Цымбаренко Дмитрий Михайлович
Кандидат наук
химические науки
На современном этапе развития нано- и микротехнологий создан широкий спектр методов, позволяющих получать нано- и микрообъекты, которые находят применение в химии, биологии, медицине, микроэлектронике, оптике, приборостроение. Дальнейшее применение нано- и микрообъектов в той или иной области науки и техники требует четкой характеризации этих объектов, то есть определения структурных характеристик, влияющих на их свойства. Под структурными характеристиками нано- и микрообъектов в дальнейшем понимаются характеристические размеры и морфология анализируемых объектов, состояние поверхности, состав и плотность. Целью данной работы является определение структурных характеристик нано- и микрообъектов различной природы и создание нового метода определения структурных характеристик твердых тонких пленок в слоистых гетероструктурах на основе уравнения Андерсона-Хесслер. В рамках данной работы определены структурные характеристики нано- и микрообъектов различной природы (уменьшение размеров наночастиц CaCO3 (от 6 мкм до 20 нм) с ростом концентрации ОЭДФ, уменьшение степени биообрастания при использовании мембран с надрапорин/полисилоксановым покрытием (с использованием покрытия <2%, без покрытия до 70%) и сохранение соотношения атомных концентраций и гомогенности распределения Rb, V и P в катодном материале металл-ионных батарей на основе RbVPO4F.) и предложено модифицированное уравнение Андерсона-Хесслер, которое позволило определить структурные характеристики диэлектрических и проводящих слоев сложного многослойного объекта – кристалла ИС. Полученные результаты о зависимостях параметров К1 и К2 от структуры и свойств анализируемого объекта могут быть использованы для неразрушающего определения структурных характеристик твердых тонких пленок, используемых в объектах различной природы.
# | Название | Размер |
---|