Диссертация

Диссертационная работа посвящена исследованию проблем восстановления трехмерной информации на основе экспериментальных данных полученных с помощью сканирующего электронного микроскопа в режиме детектирования обратно-рассеянных электронов. Рассматриваются два класса задач: восстановление трехмерной информации о поверхности исследуемого микрообразца — топографирование поверхности, и задача об исследовании внутренней структуры приповерхностных областей многослойных массивных образцов — томографирование. Для решения задачи топографирования поверхности предложен оригинальный метод, позволяющий получать качественные результаты на экспериментальных установках с механически неточной конфигурацией детекторной системы, что делает возможным внедрение этого метода на широком классе устройств с вручную устанавливаемыми детекторами. Для решения задачи томографирования предложен метод, основанный на аналитическом выражении для интенсивности сигнала как функции от энергии и толщин слоев, позволяющий восстановить толщину слоев в каждой точке, и, соответственно, всю внутреннюю трехмерную структуру