Диссертация
Исаев Темур Фуркатович
Кандидат наук
Статус диссертации
Доктор наук Доцент
Доктор наук Старший научный сотрудник
Шишленин Максим Александрович
Профессор РАН Доктор наук
Сагателян Гайк Рафаэлович
Доктор наук Профессор
физико-математические науки
Диссертационная работа посвящена исследованию проблем тонкопленочной оптики, возникающих в процессе напыления многослойных покрытий с широкополосным оптическим контролем толщин слоев. Для решения данных проблем разработаны методы математического моделирования процесса напыления многослойных покрытий. С использованием данных методов предложены подходы, направленные на борьбу с эффектом кумулятивного накопления ошибок в толщинах слоев, которые препятствуют созданию высококачественного многослойного покрытия. Также проведено исследование корреляции ошибок напыления и возникающий благодаря корреляции эффект самокомпенсации этих ошибок. Разработаны новые численные методы для решения обратных задач по восстановлению параметров многослойных покрытий.
| # | Название файла | Размер |
|---|---|---|
| 1 | Отзыв официального оппонента | 403 KB |
| 2 | Отзыв официального оппонента | 391 KB |
| 3 | Отзыв научного руководителя (консультанта) | 194 KB |
| 4 | Сведения о научных руководителях (консультантах) | 211 KB |
| 5 | Протокол приема диссертации к защите | 60 KB |
| 6 | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | 315 KB |
| 7 | Заключение по диссертации | 140 KB |
| 8 | Диссертация | 6 MB |
| 9 | Автореферат | 539 KB |
| 10 | Отзыв официального оппонента | 395 KB |