Warning: Undefined property: Dissovet\Models\Dissertation::$performed_in_place2 in /var/www/application/Models/Dissertation.php on line 354
Диссертация

Диссертация

Зотович Алексей Иванович

Кандидат наук

Статус диссертации

12.11.2018 
Диплом Кандидат наук
29.10.2018 
Решение о выдаче диплома
05.10.2018 
Положительное заключение АК
04.07.2018 
На рассмотрении в АК
20.06.2018 
Положительная защита
11.05.2018 
Объявление опубликовано
10.05.2018 
Принят к защите
04.05.2018 
Заключение комиссии
23.04.2018 
Документы приняты
ФИО соискателя
Зотович Алексей Иванович
Степень на присвоение
Кандидат наук
Приказ о выдаче диплома
№ 1397 от 12.11.2018
Дата и время защиты
20.06.2018 17:00
Научный руководитель
Рахимов Александр Турсунович
Доктор наук Профессор
Оппоненты
Филиппов Анатолий Васильевич
Доктор наук
Амиров Ильдар Искандерович
Доктор наук
Александров Николай Леонидович
Доктор наук Профессор
Место выполнения работы
Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В.Скобельцына, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В.Скобельцына
Специальность
01.04.15 Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика
физико-математические науки
Диссертационный совет
Телефон совета
+7495 939-5606; +7495 939-4093

Диссертационная работа посвящена исследованию механизмов деградации и травления нанопористых диэлектриков с низкой диэлектрической константой (так называемые low-kдиэлектрики) в высокочастотной (ВЧ) плазме, которые используются в современной микроэлектронике в качестве межслойных диэлектриков. Деградация данных диэлектриков в процессе травления является серьезным препятствием для перехода микроэлектроники к технологии 10 нм и менее. Рассмотрены методы уменьшения деградации данных диэлектриков. Предложен комплексный подход к изучению механизмов деградации и защиты нанопористых диэлектриков, который заключается в экспериментально-теоретическом исследовании как самой плазмы для травления диэлектриков, так и взаимодействия плазмы с диэлектриками. Экспериментальные исследования проводились и в условиях лабораторных установок, где доступно множество плазменных диагностик, и в условиях реальных технологических реакторов и чистых комнат, что отличает работу от имеющейся по данной теме научной литературы, так как данный подход позволил рассмотреть процессы взаимодействия плазмы с диэлектриками на уровне элементарных реакций, сохраняя при этом связь исследований с технологией.

# Название Размер