Диссертация

Работа посвящена разработке метода формирования наноструктурированных металл-оксидных пленок с in situ контролем их химического послойного фазового состава с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС). В работе предложен многоэтапный алгоритм послойного химического фазового анализа металл-оксидных ультратонких пленок, основанный на модели мишени с плоскопараллельными слоями, с помощью метода РФЭС с угловым разрешением. Определена функция фотоэлектронной эмиссии от многослойных многокомпонентных мишеней с различными по форме наноструктурированными неоднородностями на их поверхности. Предложен метод определения послойного химического фазового состава неоднородных пленок с наноразмерной шероховатой поверхностью, который позволяет определить не только фазовый профиль мишени, но и средние размерные параметры шероховатости пленки. Также предложен метод контролируемого формирования наноструктурированных металл-оксидных пленок, основанный на чередовании различных режимов слаботочного облучения ионами аргона и кратковременного окисления, который позволяет создавать неоднородные многослойные пленки с известным химическим фазовым составом по глубине