Диссертация
Лукьянцев Денис Сергеевич
Кандидат наук
Статус диссертации
Доктор наук
Доктор наук
Новодворский Олег Алексеевич
Доктор наук Профессор
Шерстюк Наталия Эдуардовна
Доктор наук Доцент
физико-математические науки
Работа посвящена разработке метода формирования наноструктурированных металл-оксидных пленок с in situ контролем их химического послойного фазового состава с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС). В работе предложен многоэтапный алгоритм послойного химического фазового анализа металл-оксидных ультратонких пленок, основанный на модели мишени с плоскопараллельными слоями, с помощью метода РФЭС с угловым разрешением. Определена функция фотоэлектронной эмиссии от многослойных многокомпонентных мишеней с различными по форме наноструктурированными неоднородностями на их поверхности. Предложен метод определения послойного химического фазового состава неоднородных пленок с наноразмерной шероховатой поверхностью, который позволяет определить не только фазовый профиль мишени, но и средние размерные параметры шероховатости пленки. Также предложен метод контролируемого формирования наноструктурированных металл-оксидных пленок, основанный на чередовании различных режимов слаботочного облучения ионами аргона и кратковременного окисления, который позволяет создавать неоднородные многослойные пленки с известным химическим фазовым составом по глубине
# | Название файла | Размер |
---|---|---|
1 | Заключение по диссертации | 135 KB |
2 | Отзыв официального оппонента | 318 KB |
3 | Отзыв официального оппонента | 142 KB |
4 | Диссертация | 7 MB |
5 | Протокол приема диссертации к защите | 61 KB |
6 | Отзыв официального оппонента | 206 KB |
7 | Автореферат | 1 MB |
8 | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | 186 KB |
9 | Дополнительный отзыв на диссертацию или реферат | 1 MB |
10 | Дополнительный отзыв на диссертацию или реферат | 527 KB |
11 | Отзыв научного руководителя (консультанта) | 143 KB |
12 | Дополнительный отзыв на диссертацию или реферат | 513 KB |
13 | Сведения о научных руководителях (консультантах) | 150 KB |