Диссертация
Кодирзода Заъфари Абдуламин
Кандидат наук
Статус диссертации
Доктор наук Доцент
Солихов Давлат Куватович
Доктор наук Доцент
Доктор наук Профессор
Лебедев Юрий Анатольевич
Доктор наук Доцент
Бобров Виктор Борисович
Кандидат наук Доцент
физико-математические науки
Целью работы является аналитический и численный расчет пространственного распределения высокочастотного поля в разрядной камере (включая плазму и слой пространственного заряда) в широком диапазоне плотностей электронов и частот ВЧ поля, поддерживающего плазму, и нескольких типичных конфигураций рабочей камеры и электродов. Объект исследования - емкостной высокочастотный разряд низкого давления. Предмет исследования - его электродинамические характеристики (импеданс и пространственное распределение электромагнитного поля) при произвольном соотношении между характерными размерами разряда и длинами электромагнитных волн, распространяющихся в разряде. Методы исследования – аналитическое и численное (методом конечных элементов) решение уравнений Максвелла для типичных конфигураций рабочей камеры технологических плазмохимических установок. Использовалось приближение холодной плазмы и матричная модель слоя пространственного заряда между плазмой и стенками камеры.
| # | Название | Размер |
|---|