Диссертация

В работе исследуются наночастицы кремния, синтезированные лазерно-индуцированным пиролизом силана: нелегированные, легированные фосфором или бором. Также исследуются тонкие плёнки, полученные спеканием наночастиц в сверхвысоком вакууме. Цель работы: Разработка методики легирования нк-Si отжигом с газообразным источником примеси и установление корреляции параметров легирующих отжигов с составом, оптическими и транспортными свойствами получаемых частиц. Использованные методы включают в себя: ИК и УФ-видимую спектроскопию поглощения, спектроскопию КР, рентгеноспектральный (микро)анализ, МС-ИСП, РФА, РЭМ, ПЭМ ВР, электрофизические измерения. В результате была разработана методика постсинтетического диффузионного легирования, определены концентрации и радиальные распределения примесей. Подобрана модель для описания плазмонного резонанса образцов. Из легированных наночастиц получены диодные и тиристорные структуры.