Warning: Undefined property: Dissovet\Models\Dissertation::$performed_in_place2 in /var/www/application/Models/Dissertation.php on line 354
Диссертация

Диссертация

Григорьев Федор Васильевич

Доктор наук

Статус диссертации

07.07.2020 
Диплом Доктор наук
29.06.2020 
Решение о выдаче диплома
19.06.2020 
Положительное заключение АК
27.03.2020 
На рассмотрении в АК
25.12.2019 
Положительная защита
21.10.2019 
Объявление опубликовано
16.10.2019 
Принят к защите
15.10.2019 
Заключение комиссии
02.10.2019 
Документы приняты
ФИО соискателя
Григорьев Федор Васильевич
Степень на присвоение
Доктор наук
Приказ о выдаче диплома
№ 691 от 07.07.2020
Дата и время защиты
25.12.2019 15:00
Научный консультант
Сулимов Владимир Борисович
Доктор наук Старший научный сотрудник
Оппоненты
Норман Генри Эдгарович
Доктор наук Профессор
Шайтан Константин Вольдемарович
Доктор наук Профессор
Боголюбов Александр Николаевич
Доктор наук Профессор
Место выполнения работы
Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр, 4.05.Лаборатория вычислительных систем и прикладных технологий программирования
Специальность
05.13.18 Теоретические основы математического моделирования, численные методы и комплексы программ
физико-математические науки
Диссертационный совет
Телефон совета
+7 495 932-88-51

Тонкие пленки - основной структурный элемент многослойных оптических покрытий, широко применяющихся в бытовых и промышленных оптических и оптоэлектронных устройствах. Характеристики тонких пленок,важные с точки зрения их практического использования, существенно зависят от технологических параметров процесса их напыления. Экспериментальное исследование этих зависимостей требует проведения разнообразных и довольно дорогостоящих научных экспериментов. В то же время большой прогресс в развитии вычислительных средств в последние десятилетия открывает новые перспективы в использовании математического моделирования с целью изучения зависимостей свойств пленок от условий их изготовления. В рамках диссертационной работы проведено комплексное математическое моделирование процесса напыления тонких пленок, разработаны численные методы и реализующие их программы для расчета характеристик пленок, важных с точки зрения их практического применения. Математическое моделирование проведено в приближении классической молекулярной динамики, в рамках которой каждый атом рассматривается как классическая частица с заданной массой, движущаяся согласно законам Ньютона в соответствии с заданным выражением для потенциальной энергии межатомного взаимодействия. В рамках моделирования описывается процесс роста напыляемых пленок в зависимости от параметров напыления - плотности потока насаждаемых атомов, распределении осаждаемых атомов по величине и направлению их начальных скоростей, температуры подложки, состава атмосферу в вакуумной камере. Разработанные численные методы позволяют рассчитать структурные и механические свойства напыленных тонких пленок - профили плотности по толщине пленки, структурные неоднородности, концентрацию и геометрию точечных дефектов, влияющих на оптические свойства, пористость, поверхностную шероховатость, статистику структурных колец, напряжения, возникающие в процессе напыления вследствие различий свойств подложки и пленки и др.

# Название Размер