Диссертация

На современном этапе развития нано- и микротехнологий создан широкий спектр методов, позволяющих получать нано- и микрообъекты, которые находят применение в химии, биологии, медицине, микроэлектронике, оптике, приборостроение. Дальнейшее применение нано- и микрообъектов в той или иной области науки и техники требует четкой характеризации этих объектов, то есть определения структурных характеристик, влияющих на их свойства. Под структурными характеристиками нано- и микрообъектов в дальнейшем понимаются характеристические размеры и морфология анализируемых объектов, состояние поверхности, состав и плотность. Целью данной работы является определение структурных характеристик нано- и микрообъектов различной природы и создание нового метода определения структурных характеристик твердых тонких пленок в слоистых гетероструктурах на основе уравнения Андерсона-Хесслер. В рамках данной работы определены структурные характеристики нано- и микрообъектов различной природы (уменьшение размеров наночастиц CaCO3 (от 6 мкм до 20 нм) с ростом концентрации ОЭДФ, уменьшение степени биообрастания при использовании мембран с надрапорин/полисилоксановым покрытием (с использованием покрытия <2%, без покрытия до 70%) и сохранение соотношения атомных концентраций и гомогенности распределения Rb, V и P в катодном материале металл-ионных батарей на основе RbVPO4F.) и предложено модифицированное уравнение Андерсона-Хесслер, которое позволило определить структурные характеристики диэлектрических и проводящих слоев сложного многослойного объекта – кристалла ИС. Полученные результаты о зависимостях параметров К1 и К2 от структуры и свойств анализируемого объекта могут быть использованы для неразрушающего определения структурных характеристик твердых тонких пленок, используемых в объектах различной природы.