Диссертация

Данная диссертация посвящена изучению энергетического спектра ионов в реакторах плазмохимического травления. Разработка in situ методов управления составом, потоком и энергией ионов, взаимодействующих с поверхностью, является ключевой задачей для обеспечения высокой степени контроля процесса плазмохимического травления. Цель данной работы – исследовать процессы, происходящие в плазме, которые ответственны за формирование энергетического спектра ионов на поверхности электрода. Акцент ставится на изучение специфических условий реакторов плазмохимического травления. Разработан и проверен метод in situ диагностики ионного потока на электрод. Также исследована зависимость профиля плотности плазмы от процессов, происходящих в предслое и слое, что определяет соотношение между потоком ионов на электрод и плотностью плазмы в центре разряда. Было изучено влияние асимметрии разряда, а также эффект второй частоты на энергетический спектр ионов в двухчастотных ВЧ разрядах. Представлена экспериментальная верификация схемы быстрого расчёта энергетических спектров ионов на основе экспериментально полученной формы напряжения на слое. Проведена верификация численного подхода на основе метода Монте-Карло к получению ионного состава в смесях Ar/H2. Результаты, полученные в ходе данного исследования, могут быть впоследствии использованы для реализации комплекса in situ диагностик ионов в технологическом процессе.